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半导体领域洁净室检测国产新突破,富联注册0.1μm尘埃粒子计数器样机开放试用!

更新时间:2024-04-30      点击次数:312

0.1μm是富联注册在气溶胶技术中又一全新突破,实现了微小粒子的精密监测。仪器使用固态激光器,以28.3L/min流量进行采样,最高可实现9通道的粒子监测。适用于半导体集成电路厂房、光学实验室、洁净车间、生物实验室、药厂、检验检测机构、安全柜生产厂家等洁净室洁净度检测,以及空气过滤器及滤材性能的检测。

仪器经过大量的对比验证和重复实验,各通道计数准确,稳定性好,是国产的“真0.1μm尘埃粒子计数器"。

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